亚稳相稀土镍基氧化物电子相变半导体非贵金属接触电极.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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亚稳相稀土镍基氧化物电子相变半导体非贵金属接触电极.pdf

本发明提供一种使用铂、金、钯以外金属作为稀土镍基氧化物电极,通过控制金属电极与稀土镍基氧化物的功函数匹配特性,实现对稀土镍基氧化物的低阻欧姆接触并调控氢致电子相变速率的技术方法。针对稀土镍基氧化物的电子、空穴混合载流子电输运机制,本发明可通过高功函数金属或合金接触实现空穴主导输运下的低阻欧姆接触,亦可通过低功函数金属或合金接触实现电子主导输运下的低阻欧姆接触。此外,通过调控金属与稀土镍基氧化物的功函数匹配关系,控制氢气或混合氢气气氛下稀土镍基氧化物的氢致电子相变速率及电阻率突变程度。本发明所提供

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115732317 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202211384987.2 C23C 16/06 (2006.01) (22)申请日 2022.11.

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