一种非完美单晶锗片的高温成形装置.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种非完美单晶锗片的高温成形装置.pdf

一种非完美单晶锗片的高温成形装置由加热电炉、温度控制系统、模具系统、加载系统、真空保护系统、操作台、辅助系统部分组成;加热电炉的炉膛为圆柱形且炉口朝下,炉膛且具有垂直升降或开合功能;真空系统由玻璃罩、阻挡法兰、玻璃罩支撑板、真空泵及其附件组成;弯曲模、精整模、碾平模均内置于玻璃罩内。通过操作手套和旋转杆和夹钳,可在高温真空环境下完成单晶片的移位和翻转等操作。本设备原理简单,极大地简化非完美单晶片的生产流程,提高了生产效率高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112845838 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011335717.3 (22)申请日 2020.11.25 (71)申请人 长沙理工大学 地址

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