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本发明提供一种光敏晶体管、彩膜基板及其制作方法。光敏晶体管包括透光基板、栅极层、栅极绝缘层、有源层以及源漏极层;所述栅极层设于所述透光基板上,具有透光区;所述栅极绝缘层设于所述透光基板上且完全覆盖所述栅极层;所述有源层设于所述栅极绝缘层上,具有沟道区;所述沟道区与所述透光区对应设置;所述源漏极层设于所述栅极绝缘层上并与所述有源层的沟道区两端分别电连接。本发明使得位于栅极层下方一侧的光线传输至有源层,从而提升光敏晶体管作为光敏传感器时的灵敏性,实现了光敏晶体管能够设置在彩膜基板上接收来自彩膜基板背
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864172 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110003419.2
(22)申请日 2021.01.04
(71)申请人 TCL华星光电技术有限公司
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