图像形成方法以及图像形成系统.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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图像形成方法以及图像形成系统.pdf

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本公开涉及图像形成方法，以将多层结构体中所含的多个分层的信息遍及大范围显性化、或进行了显性化的对象层的图像化为目的。提出一种方法，包含：将样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从样品分离的位置且具有使离子束选择性穿过的开口的掩模从相对于所述法线方向倾斜的方向朝向所述样品照射离子束，由此形成具有相对于样品表面倾斜的带状的倾斜面的孔；以及基于通过对所述带状的倾斜面中所含的所述对象层照射带电粒子束而得到的信号来形成从与所述对象层的所述倾斜面交叉的方向来看的第1图像。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112868082 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 201880098592.1 (51)Int.Cl.