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- 2023-06-11 发布于广东
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敲击模式的优越性: 敲击模式尽管没有接触模式的分辨率高,但是敲击模式在一定程度上减小样品对针尖的粘滞现象,因为针尖与样品表面接触时,利用其振幅来克服针尖-样品间的粘附力。并且由于敲击模式作用力是垂直的,表面材料受横向摩擦力和剪切力的影响都比较小,减小扫描过程中针尖对样品的损坏。所以对于较软以及粘附性较大的样品,尽量选用敲击模式。 第三十页,共六十三页,2022年,8月28日 第三十一页,共六十三页,2022年,8月28日 检测系统 悬臂的偏转或振幅改变可以通过多种方法检测,包括:光反射法、光干涉法、隧道电流法、电容检测法等。目前AFM系统中常用的是激光反射检测系统,它具有简便灵敏的特点。激光反射检测系统由探针、激光发生器和光检测器组成. 探针 探针是AFM检测系统的关键部分.它由悬臂和悬臂末端的针尖组成.随着精细加工技术的发展,人们已经能制造出各种形状和特殊要求的探针。悬臂是由Si或Si3N4经光刻技术加工而成的.悬臂的背面镀有一层金属以达到镜面反射。在接触式AFM中V形悬臂是常见的一种类型(如图2所示). 第三十二页,共六十三页,2022年,8月28日 它的优点是具有低的垂直反射机械力阻和高的侧向扭曲机械力阻.悬臂的弹性系数一般低于固体原于的弹性系数, 悬臂的弹性常数与形状、大小和材料有关.厚而短的悬臂具有硬度大和振动频率高的特点. 商品化的悬臂
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