钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备.pdf

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本发明公开了一种钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备，属于半导体真空设备安装治具技术领域，为解决现有阀体安装精度差等问题而设计。本发明钟摆阀定位治具组件包括定位刻度盘，定位刻度盘上设置有多个同心设置的定位圆环和位于定位圆环中心处的中心点标识部，任意相邻两个定位圆环之间的间距相等。本发明钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备能通过定位刻度盘的中心与阀体的中心是否对准来判断安装是否合格，若定位刻度盘的中心与阀体的中心未对准则说明钟摆阀的安装出现了偏差、需要进行调整，通过调整使得钟摆阀安装准确，避免因为操作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112846744 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 201911100586.8 (22)申请日 2019.11.12 (71)申请人长鑫存储技术有限公司