流体供给系统、流体控制装置以及半导体制造装置.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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流体供给系统、流体控制装置以及半导体制造装置.pdf

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流体供给系统1并列地排列有多条流体管线8，该流体管线8是流体控制器2和接头4通过配管6串联连接而成的，各流体管线8在从包含各流体管线8的排列方向Y的平面观察时，在与排列方向Y实质上正交的延设方向X上呈直线状延设，各流体控制器2使得连接配管6的连接面2a、2b朝向同一方向、且在排列方向Y上并排配置，配管6的直径Dp为连接面2a、2b在排列方向Y上的面宽度W以下，接头4的直径Dd1、Dd2为面宽度W以上，在排列方向Y上相邻的各配管6被定位于接头4在延设方向X上相互错开的位置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112888893 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 201980069490.1 (74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理