激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备.pdf

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本发明提供一激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备，其中所述光学系统包括一分光组件，一光收发装置以及一光干涉组件。所述激光干涉仪包括一激光器、一光学系统、一探测器以及一壳体，其中所述激光器发射一激光，其中所述光学系统基于所述激光器发射的激光干涉得到一干涉光，其中所述探测器被接入至所述光学系统，由所述探测器基于所述干涉光束得到被测物体的探测数据信息，其中所述激光器、所述光学系统以及所述探测器被固定地设置于所述壳体。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112857206 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 201911186358.7 (56)对比文件 (22)申请日 2019.11.28