一种基于化学活化的石英玻璃低温直接键合方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种基于化学活化的石英玻璃低温直接键合方法.pdf

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本发明公开了一种基于化学活化的石英玻璃低温直接键合方法，其步骤包括：(1)利用化学试剂清洗抛光后的石英玻璃；(2)利用化学试剂对石英玻璃表面进行超声活化处理；(3)利用去离子水冲洗经过活化处理的石英玻璃，然后在水中将其直接贴合转移到鼓风干燥机中，利用重物施加一定压力，较低温度下进行预键合；(4)脱水键合，将鼓风干燥机温度升高，使得石英玻璃间实现脱水键合，自然冷却至室温，取出，得到永久键合的石英玻璃。该方法在非洁净室环境下进行，无需真空条件，仅利用化学试剂超声活化表面和低温条件实现石英玻璃的键合，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112851145 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 20191