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电子科大薄膜物理介绍;课程介绍;课程介绍;教材及参考书;主要内容;课件;考试;什么是薄膜？;;定义1的特点：;;定义3：;薄膜(thin film)：由物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、溶液镀膜等薄膜技术制备的薄层。;第14页/共50页;第15页/共50页;; 三、基板;世界日新月异;第19页/共50页;1971,4004, 2300;;物联网探测传感;挑战带来机遇;怎样才能实现？;如何制备薄膜？;;物理气相沉积技术(PVD)是利用热蒸发、离子溅射或辉光放电等物理过程，在基体表面沉积所需薄膜的技术 化学气相沉积技术(CVD)是利用化学反应，将气相中的物质转移到基体表面形成所需薄膜的技术 物理与化学相结合，以技术方法区分。氧化物、氮化物的制备。;Evaporation;Sputtering;第30页/共50页;第31页/共50页;Pulsed Laser Deposition;第33页/共50页;薄膜的应用;电学——超导、导电、半导体、电阻、绝缘、电介质 功能薄膜;传感器：压力，温度，湿度，加速度，气体 光电子器件：薄膜电致发光器件，代替CRT作显示器 信息及计算机：磁性薄膜，光盘，磁光盘 光学：反射膜，增透膜 机械工业：耐磨涂层，硬质镀层，固体润滑膜，耐腐蚀装饰、包装，镀金，锡箔纸，塑料薄膜上镀铝 太阳能电池，超导薄膜，铁电薄膜，金刚石薄膜…;集成电路：