一种薄膜基材处理系统.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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本发明公开了一种薄膜基材处理系统,包括用于提供薄膜基材的放卷模组、用于对薄膜基材进行加热处理的烘箱模组、用于提供强氧化气体的强氧化气体发生器及用于收卷处理后的薄膜基材的收卷模组,放卷模组设置在烘箱模组的基材进料侧,收卷模组设置在烘箱模组的基材出料侧,强氧化气体发生器的出气口与烘箱模组的加热腔体连通,烘箱模组的基材进料口和基材出料口均设置有抽风装置。本发明除了可以对薄膜基材进行开卷加热外,还可以针对某些薄膜基材(如铝箔),在强氧化的环境中进行开卷加热,不仅使其可以去除水分、消除应力,还可以在其表面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112893046 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110264989.7 (22)申请日 2021.03.11 (71)申请人 深圳市镭煜科技有限公司

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