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一种常压HVPE制作珊瑚状多晶氮化镓晶体的方法，其特征如下：1)在载盘上放上直径1mm左右的种子颗粒，间隔10mm左右；2)向反应区内通入氮气和氢气、升温到900‑1000℃并保持10分钟，清洁种子表面水分和氧分等杂质；3)通过加热炉分别将反应区和生长区温度分别控制在850‑900℃和950‑1000℃，并在温度达到稳定时通入氨气10‑30分钟、用以氮化种子表面；4)在生长区温度达到1000‑1020℃，以0.05mol‑0.4mol/小时的量通入氯化氢，持续30‑90分钟生成菜花状氮化镓；5)
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112899783 B
(45)授权公告日 2022.06.07
(21)申请号 202110063226.6 C30B 25/14 (2006.01)
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