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- 2023-06-09 发布于四川
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本发明提供一种管式炉，其包括：炉管工艺腔；成膜气体装置，与所述炉管工艺腔连通，用于向所述炉管工艺腔中提供成膜反应气体。等离子体装置，与所述炉管工艺腔连通，用于向所述炉管工艺腔中提供等离子体。本发明的优点在于，管式炉能够进行成膜反应及等离子体掺杂反应，避免了半导体结构的转移，节省了等待时间，大大提高生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112908835 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110289798.6
(22)申请日 2021.03.18
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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