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抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪.pdf

    抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪，涉及光学检测空间物体表面三维信息的技术领域。本发明解决了时域移相式斐索干涉仪受环境振动等随机误差源影响严重的问题。本发明包括短相干激光器、第一λ/2波片、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、移相器、第二角锥棱镜、延迟平台、显微物镜、微小针孔、分光平片、第一准直镜、标准参考镜、第二准直镜、第一分光棱镜、4f系统、第三角锥棱镜、第四角锥棱镜、第二λ/2波片、分光棱镜组、波片组、检偏器和面阵相机；采用短相干光路结构结合时空混合移相方式，充分发挥时域移相和空域移相的优势，大幅

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112902833 B (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202110240950.1 (56)对比文件 (22)申请日 2021.03.04

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