一种抛光液水分在线调节精密控制装置及方法.pdfVIP

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2023-06-09 发布于四川
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一种抛光液水分在线调节精密控制装置及方法.pdf

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本发明提供了一种抛光液水分在线调节精密控制装置及方法，包括：抛光液水分控制装置、抛光液储存桶和抛光液传输泵，抛光液传输泵将抛光液储存桶内的抛光液传输至抛光液水分控制装置中；抛光液水分控制装置包括第一水分仪、第二水分仪、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、补水装置、干燥装置以及中央控制器，中央控制器分别与第一水分仪和第二水分仪建立信号连接，同时与第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀建立控制连接；本发明能够对抛光液的含水量进行精密控制从而达到加工光学元件的工艺要求，具有较高的实用性，机械仪器代替人工作

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112892391 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110122102.0 (51)Int.Cl.