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本发明提供了一种在样品坡面上进行纳米探针测试的方法，包括以下步骤：将样品固定在FIB的样品台上，并将所述样品台移动至电子束与离子束的共聚焦点高度处；旋转所述样品台以使所述样品台与所述离子束成一预设角度；利用所述离子束轰击所述样品的表面，对所述样品的目标区域进行切割并形成一坡面；利用纳米探针在所述坡面上进行电性测试。利用聚焦离子束在样品上加工出坡面，通过在直接在所述坡面处下针实现了对样品内下层结构的纳米探针测试，并得到了准确的电性数据，对特殊样品的失效分析工作有着重大意义。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112903736 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110122128.5
(22)申请日 2021.01.26
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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