一种基于傅里叶变换的光酸扩散长度测定方法.pdfVIP

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2023-06-09 发布于四川
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一种基于傅里叶变换的光酸扩散长度测定方法.pdf

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本发明提供一种基于傅里叶变换的光酸扩散长度测定方法，利用SEM机台量测显影后光刻胶的线边缘粗糙度；对线宽值进行傅里叶变换，得到功率谱密度函数；根据功率谱密度函数确定低频和中频区间转折点的空间频率；计算不同温度下的空间频率，并提供不同温度下实际测定的一组光酸扩散长度值，建立光酸扩散长度值与不同温度下的空间频率的函数关系；根据函数计算与所需温度下的光酸扩散长度。本发明通过优化LER量测方式获得量测原始数据，再通过傅里叶变换对确定低频和中频区间转折点，最终确定光酸扩散长度。相比传统量测方法更易实现实际

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112904681 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110115590.2 (56)对比文件 (22)申请日 2021.01.28