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本发明公开了一种重复使用的透明硬质载具与待减薄晶圆片之贴合及剥离工艺，包括以下步骤：S1、透明硬质载具与待薄化晶圆片正面以光固化树脂胶水贴合；S2、晶圆片背面进行薄化研磨加工；S3、透明硬质载具与已薄化之晶圆片剥离；S4、已薄化之晶圆片正面光固化树脂防护层去除；S5、使用后的透明硬质载具进行回收与清洗；S6、清洗后的透明硬质载具以光固化树脂胶水均匀的涂覆在载具与晶圆片之贴合面后再次重复使用。本发明在全自动无人化且在1‑1000级无尘室车间采用透明硬质载体贴合来提高晶圆片减薄研磨时候的稳定性，使晶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112908922 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110120033.X
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 蔡德
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