带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板.pdf

本发明公开了水冷板技术领域的带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板,包括底板和盖板,所述底板和盖板之间设有循环水道,所述循环水道的进水口连通有进水管,所述进水管位于底板的顶端左侧,所述循环水道的出水口连通有回水管,所述回水管位于底板的底端右侧,且进水管上连接有流量阀,所述盖板的前端面设有温度传感器,且温度传感器电性连接流量阀,所述底板的左侧外壁可拆卸连接有连接罩,且连接罩内设置有散热风扇,所述散热风扇的出风口正对循环水道的一侧,且底板的右侧外壁开设有若干组散热孔,本发明通过循环水道和通入的冷气可加

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112902522 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110317580.7 (22)申请日 2021.03.24 (71)申请人 京浜乐梦金属科技(苏州)有限公司

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