半导体厂务项目工程管理 课件 项目9 任务9-1 纯水系统的介绍.pptx

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半导体厂务项目工程管理

项目九纯水系统

任务9-1纯水系统的介绍

任务9-1纯水系统的介绍【任务背景】超纯水的定义超纯水,又称UPW,通常指的是25℃下电阻率能够达到18MΩ·cm的水,是既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。超纯水中除了水分子外,几乎没有什么杂质。半导体行业中的超纯水,主要是用于半导体原材料生产加工、检测和半导体器件的制备。

任务9-1纯水系统的介绍【任务背景】超纯水的定义

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