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- 2023-06-09 发布于四川
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暗场成像结合空间移相干涉的微球缺陷检测装置及方法，涉及光学检测技术领域。为了解决检测效率低的问题。本发明使线偏振光依次透过λ/2波片、4f扩束系统和高倍显微物镜后入射至针孔反射镜的针孔，针孔反射镜衍射出的光一部分经D形反射镜反射至第二准直透镜后形成参考光，剩余部分依次透过第一准直透镜、λ/4波片、分光棱镜和显微物镜入射至被测微球，其反射光经显微物镜、分光棱镜、成像透镜和掩膜板入射至成像CCD形成被测微球的二维信息图像，分光棱镜透射光原路返回至第二准直透镜准直后构成测量光，参考光和测量光叠加经过波
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112903713 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110254460.7
(22)申请日 2021.03.09
(71)申请人 哈尔滨工业大学
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