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2023-06-10 发布于四川
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一种条形靶材组件的厚度评价方法.pdf

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本发明涉及一种条形靶材组件的厚度评价方法，所述厚度评价方法包括：在条形靶材组件的溅射面测试位点采用超声测厚仪进行厚度测量，各条测试位点的厚度值≥预设值，则所述条形靶材组件合格；所述测试位点分布在沿条形靶材与靶材长边平行的直线上，所述直线从一个宽边延伸到另一个宽边，所述直线至少分布3条，每条直线上分布5‑8个检测点。本发明提供的方案，通过选择合适的位点个数，测定特定的测试点处靶材的厚度，与预设值相对比，实现了条形靶材组件厚度的精准把控，可以保证靶材在溅射过程中不被击穿，显著地提高了溅射过程中的作业

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112923878 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110070733.2 (22)申请日 2021.01.19 (71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司

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