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用于麦克风的MEMS换能器包括封闭腔室、导电引脚阵列、介电网格和振膜。封闭腔室的压力低于大气压力。导电引脚阵列在封闭腔室中处于固定位置，呈二维分布，且在导电引脚阵列之间形成有间隙。介电网格位于封闭腔室内，包括位于导电引脚阵列的间隙之间的介电材料网格，并且被配置为平行于导电引脚移动。该振膜被配置成形成该封闭腔室的一部分并且响应于该封闭腔室内的压力与该换能器的外部的压力之间的压差的变化而偏转。该振膜被配置为响应于压差的变化相对于导电引脚阵列移动介电网格。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112970272 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 201980073662.2 (73)专利权人 美商楼氏电子有限公司
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