白光干涉轮廓仪校准规范(报批稿).docx

PAGE PAGE 12 白光干涉轮廓仪校准规范 1 范围 本规范适用于白光干涉轮廓仪的校准。 2 引用文件 本规范引用了下列文件： GB/T 10610—2009 产品几何技术规范（GPS）表面结构 轮廓法 评定表面结构的规则和方法 GB/T 39516—2020 微纳米标准样板（几何量） 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。 3 术语 3.1 台阶高度 step height（GB/T 39516—2020，台阶高度3.3） 具有微纳米级准确度和均匀性的台阶或沟槽。台阶高度示意图见图1。