原创力文档- 3
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- 2023-06-11 发布于四川
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本发明提供了表面分析装置和表面分析方法。该表面分析装置包括原子力显微镜，具有探头和基座，探头设置在基座的一侧，基座上具有载物台和压电陶瓷，探头包括：探针，在竖直方向上的正投影位于载物台的范围内，用于固定待测物体并提供力学信号；激光发射器，用于发射激光照射到探针的第一表面上；激光接收器，用于接收照射到第一表面上的反射光；压电陶瓷用于使待测物体发生形变，改变激光接收器上接收到的反射光的强度变化。倒置荧光显微镜，具有荧光光源和荧光接收模块，荧光光源将荧光射入探针的第二表面，激发待测物体的荧光信号，使荧
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113009186 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110251708.4
(22)申请日 2021.03.08
(71)申请人 清华大学
地址 10
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