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本发明涉及一种基于钯‑回音壁模式光学谐振腔的氢气传感器及其制备和应用,该氢气传感器的制备过程具体为:(1)制备WGM型管状光学谐振微腔;(2)将金属钯颗粒耦合在WGM型管状光学谐振微腔表面,即得到氢气传感器。与现有技术相比,本发明使用光学方法进行氢气传感,没有电流传输,更加安全且制备方法简单,灵敏度高,检测限低,在氢气传感领域有重要应用前景。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113008841 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110214271.7 (56)对比文件
(22)申请日 2021.02.26
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