原创力文档- 0
- 0
- 约2.26万字
- 约 18页
- 2023-06-11 发布于四川
- 举报
本文描述的实施方式有关于一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)。蒸发设备包括用于材料的容器(105)以及加热组件(110)，加热组件包括至少部分地设置在容器周围的外部加热单元(115)以及位于容器内的网状结构(120)。外部加热单元用于在容器内提供温度梯度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112996946 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 201880099225.3 (51)Int.Cl.
文档评论（0）