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本申请涉及一种压力传感器及其装配方法,该压力传感器包括受压机构,测压机构和传压机构,还包括过压保护机构,所述过压保护机构形成有空腔并且在该空腔中设置有隔膜,所述隔膜与所述空腔的腔壁共同形成至少一个位于导压介质传导路径中的缓冲空间,所述隔膜能够在缓冲空间内导压介质的压力达到或高于预设阈值时发生偏移、低于该预设阈值时自动复位。本发明提出的压力传感器,在实现外界过压作用与敏感元件隔离的同时,可精确测量压力、压差和流量,尤其是在压力过载时对传感器芯片进行过载保护,并且在过载保护完成后可以免于二次校验,继
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112985654 B
(45)授权公告日 2022.06.10
(21)申请号 202110197715.0 (51)Int.Cl.
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