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本发明涉及非对称分束激光加工透明材料的装置及其方法，依光束传播方向设置有：激光光源，可输出宽度小于300纳秒、波长在343～2000纳米范围脉冲激光；传输系统，对从激光光源输出的激光光束扩束、反射；整形系统，将光束截面能量为高斯分布的激光光束转换为贝塞尔分布，形成贝塞尔光束；分束系统，为具有至少两个楔形面结构的楔形棱镜，每个楔形面相对于光轴的夹角不同，将激光光束分割为至少两个部分，形成至少两束贝塞尔光束；聚焦系统，对至少两束贝塞尔光束缩小汇聚成像聚焦。利用非对称楔形镜片将贝塞尔光束分割成至少两束
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112975113 B
(45)授权公告日 2021.08.10
(21)申请号 202110423923.8 G02B 27/09 (2006.01)
(22)申请日
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