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本发明公开了一种球茎形闪烁氙灯排气装置，包括涡轮干式泵，涡轮干式泵的进气口通过第一导管与冷凝泵的排气口固定连通，第一导管的中部固定安装有电动超高真空阀门，冷凝泵的入气口固定连通有第二导管，本发明一种球茎形闪烁氙灯排气装置，通过涡轮干式泵和冷凝泵，涡轮干式泵作为真空装置的前置低真空泵，冷凝泵作为后置高真空泵，装置本底真空度可达到5×10‑7Pa，排气过程不会产生油杂质，超高真空，无需前级泵不用反复循环启动；通过灯壳加热机构，同时可对各工位氙灯灯壳单独加热并控温，每个工位采用独立的加热炉，并独立测温
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112992651 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110183186.9
(22)申请日 2021.02.08
(71)申请人 北京朗菲霖科技研发有限公司
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