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本发明涉及一种精确电阻率测量装置,包括样品固定装置、测量线路转换装置和数据采集系统;样品固定装置包括磁力吸盘、样品台、探针台、样品和探针,样品台与探针台均置于磁力吸盘上,样品置于样品台上,四个探针台分布于样品台四周,每一探针台上固定安装一根弹簧探针,通过各探针内部的弹簧结构实现探针与样品的点接触;测量线路转换装置包括插板和接线柱,可实现测量线路的快速转换;数据采集系统包括直流恒流源、高精度电压表和计算机操作系统,电表与计算机系统连接以实现数据的自动采集与存储。本发明用磁力吸盘实现样品位置的固定,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113030583 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110312561.5
(22)申请日 2021.03.24
(71)申请人 武汉理工大学
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