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本发明提供一种高可靠性、提高了扫描性的电子枪装置。电子枪装置中，磁轭板具有：第一主面，上述第一主面相反侧的第二主面，和与从第一主面朝向第二主面的方向正交的中心线。电子束源位于磁轭板的第一主面侧，能从磁轭板的上述第一主面侧向磁轭板的第二主面侧射出电子束。磁场产生源设在磁轭板的第二主面，并具有：在中心线的两侧的一侧配置的第一磁体，和在两侧的另一侧配置的第二磁体。第一磁体的第一极和第二极与第二磁体的第一极和第二极互为相反朝向并在上述方向排列。磁场产生源在磁轭板的第二主面侧利用第一磁体的第二极和第二磁体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113025965 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202011541580.7 (51)Int.Cl.
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