传感器原理与应用（第二版）1-12章教程配套完整版电子课件.pptx

;目　录;绪 论;绪 论;绪 论;绪 论; 1.1 测量与测量误差;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;思考题 1.1 什么是测量？测量为什么会带来误差？举例说明绝对误差不能真正反映测量结果的好与坏。 1.2 现有一个1.5级的万用表，量程有10V挡和15V挡两挡，要测8V电压，应选哪个量程？为什么？ 1.3 已知一压力计测量范围为（0~10）MPa，输出特性为Uo=1+0.5p-0.02p2。计算它的灵敏度.。 1.4 有一温度计，精度为0.5级，量程为-50℃~150℃。如测量100℃的温度，可能出现的示值相对误差是多少？ 1.5 数字式测量传感器的分辨率和什么有关系？ 1.6 图1-9是射击弹着点示意图，试分析各包含哪些误差？设想各由哪些原因造成？ ; 2.1　电阻应变式传感器; 电阻式传感器的基本转换原理是将被测量的变化转换成传感元件电阻值的变化，然后通过转换电路将电阻值的变化转换成电压或电流的输出。电阻是电量中最常用的物理量之一，因此电阻式传感器的应用非常广泛。本章研究的电阻式传感器主要为电阻应变片、热电阻、气敏电阻和电位计式电阻等传感器。利用电阻式传感器可以对应力、位移、温度、加速度、气体成分、湿度等参数进行测量。一般说来，电阻式传感器结构简单，性能稳定，且灵敏度较高，有的还适合于动态测量。;2.1 电阻应变式传感器 2.1.1 应变片与应变效应 电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻变化，再用相应的测量电路（如电桥）将电阻转换成电压输出的传感器。任何非电量，只要能设法变换为应变，都可以利用电阻应变式传感器进行测量。例如，测压力时，可以利用弹性敏感元件将压力转换成为应变，再将应变片贴在敏感元件上，测量出应变片阻值变化引起的电压输出。因此，电阻应变式传感器的核心部分即为电阻应变片。常用的电阻应变片有电阻丝应变片和半导体应变片两种。;1．电阻丝应变片的结构 电阻丝应变片是用直径很细（约0.025mm），具有高电阻率的电阻丝排列成栅网状，并粘贴在绝缘的基片上，电阻丝的两端焊接引出导线，线栅上面粘贴覆盖层（保护用）。电阻丝应变片结构示意图如图2-1所示。 图2-1中，为应变片的工作基长，b为应变片的??作宽度，bl为应变片的使用面积。应变片的规格一般以有效使用面积或标称阻值表示。例如，某电阻丝应变片为,100W。;2．应变效应 电阻丝应变片的应变效应，可以从单根导线的电阻值R入手分析。 【例1】 有一根金属单丝，其长度为l，截面积为S，电阻率为?，则其电阻值;此式就是应变效应的表达式。其中为应变灵敏系数，而电阻丝的即为电阻丝的轴向应变e x。因此;3．电阻丝应变片的结构、材料和特点 根据应变片原材料形状和制造工艺的不同，它的结构形式常见的有丝式、箔式和薄膜式三种。图2-2所示为丝式、箔式电阻丝应变片的结构形式。; 丝式应变片是最早使用的一种应变片，其应变片蠕变较大，而金属丝也较易脱胶，有被箔式应变片逐渐取代之势，但由于价格低廉，多用于应变、应力的一次性实验。 箔式应变片是一种通过光刻、腐蚀等工艺制造成的很薄的金属箔栅。箔的材料多为电阻率高、热稳定性好的铜镍合金（康铜）。其厚度一般在（0.001～0.005）mm，基片厚度多为（0.03～0.05）mm，基片和覆盖层多为胶质膜。箔式应变片的优点是表面积与截面积之比较大，散热条件好，允许有较高的电流密度，且灵敏度高，横向效应小，蠕变小，耐疲劳，寿命长，可以制成任意形状，易于加工，适用于成批生产，且成本低。目前已经广泛应用于各种应变式传感器的结构中。; 在制造工艺上，还可以对箔式应变片进行适当的热处理以便使其线胀系数、电阻温度系数以及被粘贴试件的线胀系数三者相互抵消，从而将温度的影响降到最低程度。目前使用该工艺制造出来的应变式传感器在整个使用温度范围内，其温漂小于万分之几。 薄膜式应变片是采用真空蒸镀技术，在很薄的绝缘基片上蒸镀金属电阻材料薄膜，最后再加上保护层制成的，为薄膜技术发展的产物（所谓薄膜是指厚度在0.1?m以下的膜）。它的主要优点是应变灵敏系数高，允许的电流密度大等。表2-1列出国内常用的应变片的型号与参数，以供参考。;表2-1 几种常用的国产应变片;应变片在实际测量中应用非常广泛，主要是由于它具有以下的特点： （1）灵敏度高，性能稳定可靠，常用于测量（1～2）mm的应变，误差小于。 （2）应变片尺寸小，重量轻，结构简单，使用方便，测量速度快，可用于动态测量。 （3）测量范围大，可测变形范围从～。 （4）适应性强，可以在高温、低温、高压、水下、强磁场、强辐射下工作（有温度补偿措施）。 （5）适于远距离测量。;4．半导体应变片 金属电阻应变片有