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本发明涉及了一种用于半导体设备的尾气管装置，包括安装于半导体设备上的金属尾气管，金属尾气管的上端形成有管口，管口处安装有闷板组件，闷板组件包括卡箍和内嵌于卡箍内部的闷板本体，卡箍的下沿与管口外壁相抵触且上沿与闷板本体相抵触，卡箍与管口、闷板本体的连接处均套嵌有密封圈，闷板本体的中部开设有槽口，槽口内部安装有阻塞垫且开口处焊接有公头螺纹组件，公头螺纹组件上安装有氮气导入机构。本发明在常规闷板组件基础上设计有氮气导入机构，能够在尾气管内部持续的通入高纯氮气，因为氮气本身的惰性等性能，能够防止空气对尾
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113048305 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110257867.5
(22)申请日 2021.03.09
(71)申请人 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
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