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CARBON FILTER1可编辑ppt 內容AMC的來源與分類AMC之影響濾材種類與形式濾網種類考慮事項檢測與監測2可编辑ppt AMC : Airborne Molecular Contamination3可编辑ppt 無塵室的AMC：來源製程化學品、反應副產物溶劑 酸 鹼清淨室物質的outgasing人員：氨、硫化物災害：溢出的化學物質外部空氣：循環空氣：4可编辑ppt SEMI F21-95 分類AcidBaseCondensableDopant5可编辑ppt ACID一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子接受者HF(Hydroflouric Acid)氫氟酸、 HNO3 （ Nitric Acid ）硝酸、H3PO4（Phosphoric Acid）磷酸…6可编辑ppt 無塵室濃度 - ACIDContaminantConcentration Range (ppt)HF40k250kHNO320k250kH3PO410k400kH2SO410k300k7可编辑ppt BASE一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子提供者Ammonia、NMP、Methylamine8可编辑ppt 無塵室濃度 - BASEContaminantConcentration Range (ppt)Ammonia10k200kNMP20k300k9可编辑ppt CONDENSABLE一沸點高於室溫的物