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- 2023-06-12 发布于四川
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本发明公开了一种OLED显示器晶圆图的测试方法。本发明中，采用型号为MantaG‑917B的黑白工业千兆网相机，具有900万像素分辨率。根据晶圆成像区域视野大小宽约3mm，传感器装置的尺寸宽12.8mm，以及成像要求，所以选择4倍远心放大镜头，C型接口的工业远心镜头进行拍摄；之后通过多种处理方式对内部晶圆图案轮廓进行仿射变换，剪裁区域后分区域作不同阈值分割和形态学处理，进而实现点状缺陷、线状缺陷、面状缺陷、大面积污染缺陷、缺角缺陷的缺陷检测与缺陷标记，同时也简化了复杂的操作流程，方便了后续的工作
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113034474 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110337659.6 G06T 5/40 (2006.01)
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