用于调幅探针卡缓冲结构的驱动气缸蓄力组件.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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用于调幅探针卡缓冲结构的驱动气缸蓄力组件.pdf

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本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种用于调幅探针卡缓冲结构的驱动气缸蓄力组件；该组件包括第一齿条、第一齿轮、齿轮架、齿轮轴、涡卷弹簧、第二齿轮和第二齿条，所述第一齿条的下端与所述第一齿轮啮合，所述第一齿轮为空心齿轮，第一齿轮转动设置在齿轮架上，第一齿轮的内部同轴设置有齿轮轴，且第一齿轮和齿轮轴之间设置有涡卷弹簧，齿轮轴的一端伸出所述齿轮架后与第二齿轮连接，第二齿轮与第二齿条啮合；将本发明用于调幅探针卡缓冲结构，通过缓冲托板和缓冲垫，将驱动气缸和限位气缸与探针卡隔离，减小震动，同时将驱动气缸与驱

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113109604 B (45)授权公告日 2022.03.08 (21)申请号 202110315511.2 G01R 31/28 (2006.01) (22)申请日