原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
公开了一种基于数字孪生的喷淋系统设计方法，包括：构建喷淋系统的数字孪生体数据库，通过建模仿真计算得到不同工艺参数下的铜层体积分数结果，并确定良质产品的工艺参数范围；实时感知和采集喷淋数据，并将喷淋数据实时传送到数字孪生体数据库中，数字孪生体数据库接收喷淋数据，根据喷淋数据对应的工艺参数调出当前加工状态下铜层蚀刻效果的数字孪生图像，并输出其相对于良质产品工艺参数误差范围；根据当前加工状态下铜层蚀刻效果的数字孪生图像，并且以工艺参数误差范围作为参考，对喷淋系统的蚀刻液工艺参数进行实时调控，直至工艺参
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113111602 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110340779.1
(22)申请日 2021.03.30
(71)申请人 武汉大学
地址 43
文档评论（0）