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一种闭环迭代补偿干涉检测方法、装置和系统，搭建闭环迭代补偿干涉检测装置，设置补偿相位优化子系统其智能优化算法的初始模式像差系数，模式像差系数即智能优化算法的优化变量；根据当前的模式像差系数，控制可变补偿元件产生相应相位，获得像差补偿后对应的干涉图以及干涉图对应的干涉图性能指标，判断相位补偿后的干涉图是否满足可完全被波面干涉仪解析的要求，若当前像差补偿后对应的干涉图不能满足可完全被波面干涉仪解析的要求，则更迭更新产生新的优化变量，直到像差补偿后的干涉图能够完全被波面干涉仪解析，执行检测操作。该方法
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113091642 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110460304.6
(22)申请日 2021.04.27
(71)申请人 中国人民解放军国防科技大学
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