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本发明提供一种晶圆卡盘,底座包括轨道;旋转轮位于底座上,且与底座活动连接;滑块与轨道对应设置,且位于轨道中;晶圆限位件与滑块对应设置,并与滑块固定连接,以构成中心对称图形,且对称中心与旋转轮的中心位于同一轴线上;驱动器与旋转轮相连接;连接杆与旋转轮及滑块活动连接,从而通过驱动器驱动旋转轮旋转,旋转轮通过连接杆带动滑块运行,以驱使多个晶圆限位件沿径线同步运行,在确保对晶圆固定的同时,使晶圆的中心与旋转轮的中心始终位于同一轴线上,从而在对晶圆进行夹持或卸载时,以及在将晶圆卡盘与旋转轴件连接时,均可实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130370 A
(43)申请公布日
2021.07.16
(21)申请号 20191
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