微波与等离子体.pptVIP

1.3 按热力学平衡分类 根据离子温度与电子温度是否达到热平衡，可把等离子体分为三类： *完全热力学平衡等离子体：当整个等离子体系统T 5000K时，体系处于热平衡状态，各种粒子的平均动能都相同，这种等离子体称为热力学平衡等离子体，简称平衡等离子体； *局域热力学平衡等离子体：就是局部处于热力学平衡的等离子体； *非热力学平衡等离子体。 第三十页，共八十六页，2022年，8月28日 1.4 按系统温度分类 高温等离子体和低温等离子体。 高温等离子体是高于10000℃的等离子体，如聚变、太阳核心。高温等离子体中的粒子温度T 108-109K，粒子有足够的能量相互碰撞，达到了核聚变反应的条件。 低温等离子体又分为热等离子和冷等离子体两种。热等离子体是稠密气体在常压或高压下电弧放电或高频放电而产生的，温度也在上千乃至数万开，可使分子、原子离解、电离、化合等。冷等离子体的温度在100-1000K之间，通常是稀薄气体在低压下通过激光、射频或微波电源发辉光放电而产生的。 第三十一页，共八十六页，2022年，8月28日 1.5 按产生方法和途径分类 除自然界本身产生的等离子体外，人为发生等离子的方法主要有气体放电法、射线辐射法、光电离法、热电离法、冲击波法等。其中化工中最为常见的是气体放电法。 根据所加电场的频率，气体放电可分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型；根据其放电形式又可分为电晕、辉光、弧光等离子体等；根据气压可分为低压等离子体和常压等离子体。 第三十二页，共八十六页，2022年，8月28日 2 等离子体的产生方法和原理  获得等离子体的方法和途径多种多样，其中宇宙星球、星际空间以及地球高空的电离层等属于自然界产生的等离子体。 这里只讨论人为产生等离子体的主要方法和原理。一般说来，电离的方法有如下几种：  第三十三页，共八十六页，2022年，8月28日 ?光、X射线、射线照射：通过光、X射线、射线的照射提供气体电离所需要的能量，由于其放电的起始电荷是电离生成的离子，所形成的电荷密度通常极低。 ?辉光放电：从直流到微波的所有频率带的电源产生各种不同的电离状态。辉光放电法所产生的低温等离子体在薄膜材料的制备技术中得到了非常广泛的应用。 ?燃烧：通过燃烧，火焰中的高能粒子相互之间发生碰撞，从而导致气体发生电离，这种电离通常称之为热电离。另外，特定的热化学反应所放出的能量也能够引起电离。 第三十四页，共八十六页，2022年，8月28日 ?冲击波：气体急剧压缩时形成的高温气体，发生热电离形成等离子体。 ?激光照射：大功率的激光照射能够使物质蒸发电离。 ?碱金属蒸气与高温金属板的接触：由于碱金属蒸气的电离能小，当碱金属蒸气接触到电离能大的金属时，电离容易发生。 ?微波激发等离子体：用微波加热激发产生等离子体。 第三十五页，共八十六页，2022年，8月28日 3 等离子体的性质 等离子体的性质常取决于以下因素： ①等离子体的组分，如原子、分子、离子、电子、化学基团等。 ②粒子所处的状态，如中性态、激发态、电离态、活化的分子及自由基。 ③各种粒子数密度，即单位体积中的粒子数。 第三十六页，共八十六页，2022年，8月28日 ④各种粒子的温度。如果电子和离子的温度相等，称为平衡态等离子体；反之，是非平衡态等离子体。 ⑤等离子体所处的环境，如电场强度、磁场强度、电极结构、气流、放电容器等。 ⑥各种因素的作用时间。应用取决于它的性质和状态。 　 等离子体的应用取决于它的性质和状态 第三十七页，共八十六页，2022年，8月28日 四、四类等离子体反应 第三十八页，共八十六页，2022年，8月28日 1. A(s)+B(g)→C(g) 选择合适的气体, 其等离子体与固体表面物质发生反应, 生成挥发性气态物质除去, 这就是等离子体刻蚀。 选用不同气体的等离子体，几乎可刻蚀所有材料，刻蚀的分辨率高 第三十九页，共八十六页，2022年，8月28日 第四十页，共八十六页，2022年，8月28日 1.母体分子CF4在高能电子的碰撞下分解成多种中性基团或者离子 CF4 CF3, CF2, CF, F,C以及他们的离子 2.这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，并在表面发生化学反应 生产过程中， CF4中掺如O2，这有利于提高Si和SiO2的刻蚀速率 e 第四十一页，共八十六页，2022年，8月28日 光刻胶刻蚀 首先，使光刻胶层顶部曝光形成图形。第二步，将光刻胶暴露在含硅的气体中使光刻胶被硅化。最后一步,用氧等离子体把光刻胶各向异性地刻蚀掉。 第四十二页，共