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本发明公开了一种基于鳍式场效应晶体管制造工艺的肿瘤标志物传感器。该肿瘤标志物传感器采用CMOS兼容的“自上而下”形成的纳米线结构,包括:在SOI衬底上的通过鳍式场效应晶体管制造工艺形成的Si纳米线;通过光刻、磁控溅射和剥离工艺制备的金电极;在该肿瘤标志物传感器的表面具有通过原子层沉积法形成的高k栅介质层;在传感器表面通过光刻工艺、对准技术搭建的微流控多通道。本发明的肿瘤标志物传感器能够对混合蛋白溶液进行快速、准确、高灵敏度的检测,而且该肿瘤标志物传感器具有微型化、可集成、制作成本低和可循环利用的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113130648 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 201911402226.3 B81C 1/00 (2006.01)
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