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载置面清扫方法.pdfVIP

载置面清扫方法.pdf

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    本发明提供载置面清扫方法，使载置被加工物的载置面接近没有灰尘附着的状态。一种载置面清扫方法，当在载置于载置面上的被加工物的一个面上形成由树脂构成的板状的保护部件时对载置面进行清扫，该载置面清扫方法包含如下的工序：在载置被加工物的载置面上载置由树脂形成的片材；对载置面进行加温，并且将片材朝向载置面按压，由此使与载置面接触的片材的正面溶解，利用片材的溶解的正面取入载置面的灰尘；以及使载置于载置面上且通过溶解的正面取入了灰尘的片材从载置面分离，将灰尘从载置面去除。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113134494 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110042239.5 (22)申请日 2021.01.13 (30)优先权数据 2020-0059

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