半导体零部件之射频电源行业动态报告.docxVIP

目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u 1、 射频电源：半导体制程设备核心零部件 5 、 射频电源：功率放大器为核心模块，可产生高频交流变化电磁波 5 、 射频电源：等离子体化学性质存在差异，可用于多种晶圆制造工艺 7 、 射频电源在PECVD 中的应用 8 、 射频电源在等离子体刻蚀中的应用 9 、 离子注入机关键构件离子源的可选零部件 11 、 射频电源在等离子清洗设备中的应用 12 、 射频电源技术壁垒较高，3D IC 对功率稳定一致要求更高 13 2、 射频电源以美日德进口为主 14 、 全球射频电源市场规模持续扩大 14 、 射频电源为半导体核心零部件 16 3、 国际厂商处领先地位 17 、 MKS Instruments 万机仪器 17 、 Advanced Energy 优仪半导体 20 、 TRUMPF Hüttinger 通快霍廷格 22 4、 国产厂商紧步追赶 24 、 英杰电气：高端射频电源验证加速 24 、 恒运昌：PECVD 用射频电源已实现批量供货 26 、 北方华创：收购北广科技射频应用技术相关资产 28 、 神州半导体：半导体产线电源系统服务厂商 28 、 吉兆源：专注射频电源与自动匹配器研制生产 29