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2023-06-14 发布于四川
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一种P型双面PERC太阳电池及其制备方法和应用.pdf

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本发明公开了一种P型双面PERC太阳电池及其制备方法和应用，方法包括如：去损‑背面硼扩散‑背面沉积保护膜‑正面制绒‑去除背面保护膜‑双面沉积超薄氧化硅层‑正面沉积多晶硅层‑高温磷扩散掺杂硅片正面的多晶硅层‑正面沉积氮化硅减反射层‑背面沉积氧化铝层和氮化硅薄膜层‑丝网印刷银浆并烧结。本发明先多晶硅沉积，然后高温磷扩散扩散注入，这样既可以将N型掺杂多晶硅与衬底P型硅形成PN结，还可以对正面硅进行全区域钝化，有效降低载流子复合，提高开路电压和短路电流，从而提升太阳电池的转换效率；同时，通过引入钝化接触

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113113510 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110383232.X H01L 31/0216 (2014.01) (22)申请日

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