热敏感与执行原理.pptVIP

第二十九页，共四十四页，2022年，8月28日 微执行器致动方式实例--- 热执行器 利用热来驱动的热致动器或简单的加热器（一个电阻器）广泛应用于微机械器件中，是一种十分常见的驱动方式。从原理上分，热致动器可以分为热气动式和热膨胀式两种。 第三十页，共四十四页，2022年，8月28日 热膨胀式：利用执行器加热时本身材料的体积膨胀驱动。 热气动式：一种典型的方法是形成带有密封流体（如空气、水蒸汽和液态水等）的空腔，气腔中的流体被加热后就会膨胀，压力增大，从而推动薄膜运动。 第三十一页，共四十四页，2022年，8月28日 热敏感与执行原理 第一页，共四十四页，2022年，8月28日 热传感器与执行器概述---热传感器 热传感器包括两种含义：用于测量诸如温度和热等热学性质的传感器；（2）基于热传递原理的传感器。 第二页，共四十四页，2022年，8月28日 热传感器与执行器概述---热执行器 微器件和结构的执行可以通过注入或抽走其中的热量来实现。温度分布的变化通过热膨胀、热收缩或者相变将导致机械位移或者力的输出。微结构通过吸收电磁波、欧姆热、热传导和热对流的热量，温度可以升高；而通过热传导散热、热对流散热、热辐射散热以及有源热电制冷，微结构的温度可以降低。 第三页，共四十四页，2022年，8月28日 热执行原理已用于商业的MEMS产品中。现在很多喷墨打印机都是利用墨水的热膨胀来喷出墨滴。热喷墨打印机墨嘴的示意图如下图所示。 第四页，共四十四页，2022年，8月28日 热传感器与执行器概述---热传递基本原理 微尺度下原子的振动证明了温度的存在。当材料中存在温度梯度时就会产生热传递。热量从一点传递到另一点有四种可能的机制： 1）传导，即当存在温度梯度时，热量通过固体媒介传递； 2）自然对流，即热量从表面传递到静止流体内部，流体里的温度梯度通过浮力引起了液体的局部流动，流体质量的运动促进了热传递； 3）强迫对流，即热量传递到运动流体的内部，这种内部流体运动比自然热对流引起的热传递要强； 4）辐射，即通过真空或空气中传播的电磁辐射引起热量的损失或增加。 第五页，共四十四页，2022年，8月28日 基于热膨胀的传感器和执行器 热膨胀是材料的普遍行为。温度上升后，由半导体、金属、绝缘体材料构成结构的尺寸和体积都会变大。 第六页，共四十四页，2022年，8月28日 热双层片原理 对于传感和执行而言，热双金属片效应是很常用的方法。这种效应可将微结构的温度变化转变为机械梁的横向位移。 图 热双金属片弯曲（ ） 基于热膨胀的传感器和执行器---热双层片原理 第七页，共四十四页，2022年，8月28日 热双层片由在纵向上连在一起的两种材料构成，两种材料构成一个机械单元。它们有相同的长度，但热膨胀系数（CTE)不同.当温度均匀变化△T时，两层的长度变化不一样。梁向热膨胀系数较小的材料层一侧弯曲。横向的梁弯曲由此产生。 许多常用的机电恒温器都运用了这一原理。恒温器是一个螺旋的双层金属线圈。卷丝梁的末端与继电器连接在一起，继电器是含水银的密封玻璃管。当环境温度变化时，线圈的末端倾斜并触发水银滴继电器的移动，从而控制加热/冷却电路中的电流。 第八页，共四十四页，2022年，8月28日 静电执行 热双层片执行 优点 低频时低功耗 较大的运动范围 很快的响应速度 同等位移下较小的覆盖面积 缺点 较小的运动范围 因电流产生欧姆热，工作效率较高 需要大的面积和覆盖区以产生较大的力和位移 因时间常数受制于加热和散热，响应速度较慢 表 静电和热双层片执行的特点 第九页，共四十四页，2022年，8月28日 例4.1 一个双层片悬臂梁由不同长度的两层构成。上面一层由铝制成（材料2），下面一层由氮化硅制成（材料1）。两层的宽度均为20um。A点到B点的长度为100um，从B电到C点的长度也是100um.铝和氮化硅的杨氏模量分别为为 。厚度是 。热膨胀系为 ，室温下，悬臂梁是直的。 相对于室温，梁均匀加热20℃，求悬臂梁的曲率半径（r）以及自由端的垂直位移量。 第十页，共四十四页，2022年，8月28日 解:这个复合梁有两段。A点到B点这段受双层片效应的影响而弯曲。B点到C 点这段仅由单一的材料组成，这段不会自行弯曲，但它会随着B点发生的弯曲而弯曲。 第十一页，共四十四页，2022年，8月28日 对于AB段，可以用下面的表达式来求曲率半径 AB段的曲率半径是r=0.00383m 第十二页，共四十四页，2022年，8月28日 圆弧部分的角度为： B点的垂直位移是: C点的垂直位移是： 第十三页，共四十四页，202