辐射发射器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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辐射发射器及其制备方法.pdf

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本发明提供一种制造辐射发射器的方法，包括以下步骤：制造堆叠层，其包括第一反射器、至少一个中间层、有源区和第二反射器；局部氧化至少一个中间层，从而在至少一个中间层中形成至少一个未氧化的孔径；以及局部去除堆叠层，从而形成台面，其中台面包括第一反射器、至少一个未氧化的孔径、有源区和第二反射器；在局部去除堆叠层并形成台面之前或之后，执行以下步骤：在中间层内部形成至少未氧化的第一孔径和至少未氧化的第二孔径；在堆叠层内部蚀刻沟槽，沟槽限定了台面的至少第一部分和台面的至少第二部分，其中沟槽切断中间层并将孔径分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113140962 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110432333.1 (22)申请日 2021.04.21 (30)优先权数据