一种微细电极端面自动磨平装置及方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种微细电极端面自动磨平装置及方法.pdf

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本发明公开了一种微细电极端面自动磨平装置和方法，属于微细加工领域，包括龙门架、底座、z轴高速/微动电移台、x轴微动电移台、直角支架、电极夹具、砂纸、柔性支架、支架座、滑轨、位移传感器、应变传感器等；微细电极固定在电极夹具上，通过z轴高速/微动电移台和位移传感器实现微细电极磨削的自动对刀，电极与砂纸接触后，利用柔性支架克服重力后的弹性张力提供电极的磨削力，通过x轴微动电移台控制电极在砂纸上沿x轴方向往复运动实现微细电极端平面的微量、高精度自动磨削加工；通过应变传感器实时检测柔性支架应变量进而控制磨

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113146389 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202110510940.5 B24B 47/20 (2006.01)