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一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法.pdf

    本发明公开了一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法，属于吸附垫技术领域，包括基材板，基材板的顶面上设有限位组件，限位组件之间形成不小于一组容纳垫体的槽道，垫体放置在槽道内与基材板相接，限位组件外侧连接的锁定组件贯穿垫体，用于垫体固定在基材板上，锁定组件从限位组件抽出用于垫体更换。本发明提出的一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法，针杆插入发泡层将垫体进行固定，也方便后续的更换，横板、侧板和针杆从限位组件抽出，根据三组垫体的含有抛光液，去除含有抛光液最大的一组垫体；更换的垫体重新插入对应的槽道

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113199395 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202110350305.5 B24B 37/27 (2012.01)

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