一种剥离式自支撑的神经突触仿生器件的制备方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种剥离式自支撑的神经突触仿生器件的制备方法.pdf

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本发明属于半导体技术领域，具体为一种剥离式自支撑的神经突触仿生器件的制备方法。本发明制备方法包括以下步骤：提供支撑衬底；在所述支撑衬底上旋凃形成柔性薄膜，并进行烘烤；生长第一层电极；生长功能层；光刻定义顶电极阵列图形，生长并刻蚀形成顶电极阵列；以及将柔性薄膜从支撑衬底上剥离获得自支撑的柔性神经突触仿生器件。本发明通过将柔性薄膜溶液旋涂于支撑衬底获得平整的界面，并在器件制备完成后将其整体剥离，极大提高了器件良率、有效降低了生产成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113161479 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110248356.7 (22)申请日 2021.03.08 (71)申请人复旦大学地址 20